用于集成電路制造工藝中銅和銅阻擋層的去除和平坦化。產品已在邏輯芯片等上量產使用。持續研發并驗證下一步技術節點用的產品。
用于集成電路制造工藝中鎢的去除和平坦化。產品已在邏輯芯片等上量產使用。持續研發并驗證28nm以下技術節點用的產品。
用于集成電路制造工藝中介電材料如二氧化硅、氮化硅等的去除和平坦化。
基于二氧化鈰磨料的拋光液具有高速去除二氧化硅,高選擇比,高平坦化效率等優點。用于集成電路制造工藝中淺槽隔離和其他需要高速去除二氧化硅的拋光工藝中,并且根據客戶需要開發多種新產品。
用于硅襯底及其他半導體襯底材料的拋光。包括硅粗拋液、硅精拋液、碳化硅拋光液、氮化鎵拋光液等產品系列。
基于化學機械拋光液技術和產品平臺,配合客戶制程需求,研制開發用于新技術新工藝的化學機械拋光液。包括用于三維集成工藝中TSV硅通孔拋光液和混合鍵和拋光液,聚合物和碳等新材料用拋光液。多個產品已量產供應。
1.鋁制程刻蝕后清洗液
2.銅大馬士革工藝刻蝕后清洗液
3.硬掩模銅大馬士革工藝刻蝕后清洗液
1.銅化學機械拋光后的清洗
2.鎢化學機械拋光后的清洗
3.鋁化學機械拋光后的清洗液
4.氮化硅化學機械拋光后的清洗
5.用于新材料化學機械拋光后的清洗
6.拋光墊清洗液
得益于羥胺現(xian)貨(huo)(huo)廠(chang)商現(xian)貨(huo)(huo)供(gong)貨(huo)(huo)可(ke)靠改善實施方(fang)案,提(ti)供(gong)數據半丙烯酸乳(ru)液鋁(lv)合(he)金程刻蝕(shi)后(hou)的洗滌(di)液及胺基鋁(lv)合(he)金程刻蝕(shi)后(hou)的洗滌(di)液。
護膚(fu)品使用于集成化(hua)電(dian)路(lu)板鋁程(cheng)流程(cheng)彩石(shi)材質(zhi)線、通孔及(ji)彩石(shi)材質(zhi)焊(han)盤(pad)蝕刻殘渣物徹底(di)清除,帶(dai)來優質(zhi)的蝕刻殘渣物徹底(di)清除業(ye)務能(neng)力、低利潤。護膚(fu)品已(yi)在8英尺及(ji)12英尺邏(luo)緝電(dian)子器件、數據存儲電(dian)子器件等方面(mian)投產。
采用(yong)(yong)于一體化控制(zhi)電路銅互連大馬士革生產技術蝕(shi)刻余(yu)留(liu)物取(qu)除。產品具有著(zhu)出(chu)眾的(de)蝕(shi)刻余(yu)留(liu)物取(qu)除性能、低(di)(di)常見(jian)問題、低(di)(di)直(zhi)接費用(yong)(yong)。
用(yong)于(yu)集成(cheng)化三極管硬掩模(mo)銅互連大馬(ma)士革(ge)工(gong)(gong)藝技(ji)巧蝕刻余留(liu)物(wu)除(chu)去(qu)。成(cheng)品(pin)的(de)出示高氮(dan)化鈦(tai)硬掩模(mo)除(chu)去(qu)工(gong)(gong)作程(cheng)度、不錯(cuo)的(de)蝕刻余留(liu)物(wu)除(chu)去(qu)工(gong)(gong)作程(cheng)度、低弊病、低生產(chan)成(cheng)本。成(cheng)品(pin)的(de)就在28nm邏輯(ji)學(xue)存儲芯片量產(chan)u盤,并在28nm及以上技(ji)巧結點持續(xu)保持印(yin)證。
應用于晶圓級封裝、MEMS等超越摩爾領域厚膜光刻膠去除。產品具有>100微米光刻膠去除能力、低成本。產品在8英寸及12英寸晶圓級封裝(金凸點、焊錫凸點、柱狀凸點)、MEMS、TSV等工藝量產。
有用(yong)我們要除銅拋(pao)光后表(biao)皮顆料和藥劑學物殘留(liu)物,預防銅表(biao)皮侵蝕,調低(di)拋(pao)光后晶圓表(biao)皮的缺(que)陷(xian)。物品(pin)可采用(yong)做130-28nm的銅制造拋(pao)光后清晰(xi)。
行之有(you)效(xiao)去(qu)掉鎢(wu)增加光澤(ze)后的外接(jie)(jie)觸面顆料和化學上(shang)的物留,以防(fang)鎢(wu)的外接(jie)(jie)觸面防(fang)腐蝕,削(xue)減(jian)增加光澤(ze)后晶圓的外接(jie)(jie)觸面疵點。
有(you)效地(di)徹底(di)清除鋁(lv)鏡面增加(jia)光(guang)澤(ze)后(hou)表皮顆粒劑和化學(xue)工業物無殘留,必免(mian)鋁(lv)表皮銹蝕,降底(di)鏡面增加(jia)光(guang)澤(ze)后(hou)晶圓(yuan)表皮不足。
有效性祛(qu)除氮化硅打磨(mo)后(hou)外(wai)表上(shang)顆料和化工(gong)物殘余的,調低打磨(mo)后(hou)晶圓外(wai)表上(shang)缺陷報告(gao)。
應用在環保新型材料cnc精密(mi)機械(xie)加工(gong)(gong)后的(de)難以清理,減輕cnc精密(mi)機械(xie)加工(gong)(gong)后晶圓的(de)表面問題。
合理有效(xiao)清(qing)理打蠟(la) 劑(ji)(ji)墊(dian)上的打蠟(la) 劑(ji)(ji)副終產物(wu),延長了打蠟(la) 劑(ji)(ji)墊(dian)的用到保修期(qi),影響打蠟(la) 劑(ji)(ji)后晶圓(yuan)從(cong)表面缺點。
基于液體及固體表面處理技術平臺,配合客戶工藝需求,提供特殊工藝刻蝕液,包括高選擇比磷酸等。
基于自主研發及合作,提供集成電路大馬士革工藝及先進封裝領域的電鍍液及添加劑產品系列。
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